氮化鋁是一種多功能材料，最常用于需要高導熱性和電絕緣性的場景。這種獨特的能力，使AIN成為快速加熱、散熱的理想選擇。如氮化鋁陶瓷發(fā)熱體（heater）、氮化鋁陶瓷晶圓托盤/吸盤等。
Product Introduction
嘗試左右拖動
Main Application
尺寸：Ø5, Ø9×34, Ø50 mm（可定制)
Material Parameters
陶瓷種類 Ceramic Types
密度 Density (g/cm3)
斷裂韌性 Fracture Toughness (Mpa.m1/2)
干燒功率密度 Dry Burning Power Density (W/cm2)
熱震性 Thermal Shock Resistance（℃）
熱導率 Thermal Conductivity (W/m.k)
氮化鋁 Aluminum Nitride
3.2-3.4
96
(負載可達160）
氮化硅 Silicon Nitride
95氧化鋁 95 Alumina
Performance Parameters
室溫抗折強度 Room Temperature Flexural Strength
≥320 Mpa
體積密度 Bulk Density
3.20-3.4 g/cm3
室溫相對介電常數(shù) Room Temperature Relative Dielectric Constant
8.8-8.9
熱膨漲系數(shù) Coefficient of Thermal Expansion
4.5x10-6/℃
干燒功率密度 Dry Burning Power Density
96 W/cm2
室溫斷裂韌性 Room Temperature Fracture Toughness
4.5 Mpa.m1/2
室溫體積電阻率 Room Temperature Volume Resistivity
>1013Ω.cm
熱導率 Thermal Conductivity
170-260 W/ (m-k)
硬度 Hardness
HRA 89
負載功率密度 Load Power Density
160 W/cm2
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